q日Q?020中国大学生机械工E创新创意大赛——“明x”第一届微U传感技术与应用大赛d赛落q。来自北京大学、浙江大学、上交通大学、西安交通大学、北京航I天大学、中国科学技术大学及(qing)中国U学院微?sh)子所、声学所{?7所高校和科研机构的58支参赛团队齐聚山东烟収ͼl过Ȁ烈角逐，中国计量大学斩获本科生组唯一的一{奖?三{奖Q在本科ld1个一{奖?个二{奖?个三{奖中占据半壁江山?/p>
捧回一{奖的作品“基于相位测量偏折的晶圆表面面Ş(g)系l”，?gu)中国计量大学计量试工程学院的学生之手?/p>
晶圆是制造芯片必不可的重要材料Q品质量不达标的晶圆将无法投入使用。“基于相位测量偏折的晶圆表面面Ş(g)系l”能够更加精准、快速地(g)出晶圆表面面Ş是否W合产品标准Qؓ(f)保晶圆出厂质量优质合格提供保障?/p>
“作ZU利用光学偏折技术来实现晶圆(g)高_ֺ的系l，需要通过相关的误差校正技术，从而达C光学q涉技术相当的高测量精度。”项目指D师王道档介l，相较于现有的商业q涉仪，该系l具有测量动态范围大、系l结构简单、抗q扰能力强和对外界扰动不敏感{特点，h更广阔的应用前景。“我们的作品可以应用于生产流水线上，让晶圆面形检在(g)的速度、精度等各方面都有显著的提升。?/p>
pȝ器g调研选型、三l机械结构设计、控制系l设计和软g用户界面~程{内定w是开展研I的“必修项”。“项目涉?qing)的很多专业知识都是在课E学?fn)中从未接触q的Q需要自己慢慢不断摸索研I。”来?8控3班的l长沈芳沅说Q他们查找了(jin)大量文献Q学?fn)?jin)不少新知识。“学院给予了(jin)我们_的经Ҏ(gu)持，也聘请专家来为我们指引方向，提供宝贵Q大安个比赛付Z(jin)很多的心(j)血。?/p>
如何实验室现有的测量技术，转化为可应用于晶圆批量检的完整pȝ是关键。“一开始，我们发现不能准确识别晶圆是否正确q入C(jin)CDD相机中所标定的位|。”ؓ(f)此，他们先用步q电(sh)机处理，但发C存在误差Q随后改用自q写的软g、程序来保证晶圆所(g)位|的一致性，l于M隑օ。最l，qg作品在现场答辩中打动?jin)由院士、国内外尖专家l成的评审团Q从本科生组中脱颖而出?/p>
据?zhn)Q本届大赛由中国机械工程学会(x)dQ全?0余所高校?66支团队报名参赛。大赛面向智能制造与装备、航I天、v工装备、微?sh)子与通讯工程、过E装备与程控制、生物医药、可I戴?sh)子产品、物联网领域{工E应用背景，旨在Ȁ发大学生对微U传感技术的兴趣Q培M感器领域的专业h才，引导高校学生U极投n传感技术与应用创新领域的研I工作，助力优秀成果的{化落圎ͼ?j)进微纳传感技术的产业化应用，推动微纳传感技术领域创新。在58支团队闯入决赛的队伍中，江大学和中国计量大学分别获得研I生l和本科生组一{奖?/p>
“微U传感技术已成ؓ(f)支撑万物互联、万物智能的基础产业。”明矛_C业技术研I院长高峰介绍Q该技术近q来已广泛应用于通讯?sh)子、A器A表、医疗卫生、航I天等领域Q是推动互联|、大数据、h工智能和实体l济深度融合的重要支撑。王道档老师表示Q“相信在未来Q微U传感技术必定能q泛应用于生zȝҎ(gu)面面Q给Z带来更多便利。?/p>
